掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多優(yōu)越的性能、是用途很廣泛的一種儀器。它可以進(jìn)行如下基本分析:

①觀察納米材料

所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶體、非晶態(tài)不同的、獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的重點(diǎn)方向。sem掃描電鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率?，F(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

②材料斷口的分析

掃描電鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大，圖像有立體感。sem掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大，因此所得到的掃描電子像有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個(gè)特點(diǎn)對(duì)使用者很有價(jià)值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。

③觀察原始表面

它能夠直接觀察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對(duì)試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面也能觀察(有些需要做拋光處理)，這就沒有了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度。

④觀察厚試樣

在觀察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在對(duì)厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí)，因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm，且觀察的不是試樣本身。因此，用sem掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實(shí)的試樣表面資料。

⑤觀察區(qū)域細(xì)節(jié)

試樣在樣品室中可移動(dòng)的范圍非常大，其它顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm，故實(shí)際上只允許試樣在兩度空間內(nèi)運(yùn)動(dòng)，但在掃描電鏡中則不同。由于工作距離大。焦深大。樣品室的空間也大。因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。且移動(dòng)范圍大，這對(duì)觀察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域帶來很大的方便。

⑥大視場(chǎng)低倍數(shù)觀察

用sem掃描電鏡觀察試樣的視場(chǎng)大。在掃描電鏡中，能同時(shí)觀察試樣的視場(chǎng)范圍F由下式來確定:F=L/M式中 F--視場(chǎng)范圍;M--觀察時(shí)的放大倍數(shù);L--顯像管的熒光屏尺寸。若sem掃描電鏡采用30cm(12英寸)的顯像管，放大倍數(shù)15倍時(shí)，其視場(chǎng)范圍可達(dá)20mm，大視場(chǎng)、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對(duì)有些領(lǐng)域是很必要的，如刑事偵察和考古。

⑦由高至低連續(xù)觀察

放大倍數(shù)的可變范圍很寬，且不用經(jīng)常對(duì)焦。sem掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào))，且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦，這對(duì)進(jìn)行事故分析特別方便。

⑧觀察生物試樣

因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較，因?yàn)橛^察時(shí)所用的電子探針電流小電子探針的束斑尺寸小，電子探針的能量也比較小。而且不是固定一點(diǎn)照射試樣，而是以光柵狀掃描方式照射試樣。因此，由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點(diǎn)對(duì)觀察一些生物試樣特別重要。