掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。大部分的sem掃描電鏡都會(huì)配置能譜儀，用來進(jìn)行成分分析。這里要注意的是能譜不能單獨(dú)存在，是依附電鏡而使用，作為一個(gè)探測(cè)器而存在。

掃描電鏡基本原理

電子束與樣品作用時(shí)會(huì)產(chǎn)生信號(hào)，這些信號(hào)*為常見的包括：背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、特征x射線、俄歇電子那么可以利用這些信號(hào)對(duì)樣品的性能進(jìn)行表征。能譜分析是會(huì)額外配置一個(gè)能譜探測(cè)器，利用特征X射線進(jìn)行成分分析。

電子槍發(fā)射出的高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，產(chǎn)生了各種信息被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應(yīng)的亮度一一對(duì)應(yīng)。

設(shè)備就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序、成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)，完成一幀圖像，從而使我們?cè)跓晒馄辽嫌^察到樣品表面的各種特征圖像。

了解過sem掃描電鏡的工作原理后，接下來就是重要的制樣環(huán)節(jié)啦。大部分人都會(huì)忽略制樣的重要性，其實(shí)樣品制備的好壞，對(duì)測(cè)試結(jié)果有很大的影響。

優(yōu)質(zhì)的待測(cè)樣品要具備以下特點(diǎn)：電、小、凈、穩(wěn)。

電：導(dǎo)電性好，導(dǎo)電性好的樣品成像效果好，導(dǎo)電性差的樣品需要噴金增強(qiáng)導(dǎo)電性。

?。簶悠沸?dǎo)電性會(huì)好，且易于抽真空。

凈：保證待測(cè)面的新鮮，*好可用酒精擦拭后再測(cè)試。

穩(wěn)：沒粘穩(wěn)的話圖像會(huì)一直晃動(dòng)、飄，成像質(zhì)量差。

一般要測(cè)的樣品狀態(tài)有：塊狀、薄膜、粉末、液體，常用的導(dǎo)電膠帶是雙面碳膠帶。

塊狀、薄膜：尺寸標(biāo)準(zhǔn)接近10mm*10mm*1mm左右的規(guī)格。

液體：先在樣品臺(tái)上粘雙面膠帶，然后粘上干凈的硅片，接著把溶液小心滴在硅片上，自然烘干。

粉末：在樣品臺(tái)上粘雙面膠帶，取少量粉末撒在膠帶上，用洗耳球吹去多余的樣品；個(gè)別分散性較差的樣品可分散在液體溶液中，重復(fù)液體制樣方法

樣品制備好后，導(dǎo)電性好的樣品可直接放入掃描電鏡樣品倉中進(jìn)行測(cè)試，導(dǎo)電性差/不導(dǎo)電的樣品則需要先進(jìn)行噴金處理再放進(jìn)樣品倉中抽真空進(jìn)行測(cè)試。

sem掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。

一般二次電子圖像主要反映樣品表面微觀形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對(duì)比分析。背散射電子圖像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區(qū)域，原子序數(shù)越高?？幢砻嫘蚊玻ǔＡ恋膮^(qū)域高，暗的區(qū)域低。但非常薄的薄膜，背散射電子會(huì)造成假像；導(dǎo)電性差時(shí)，電子積聚也會(huì)造成假像。