掃描探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡，雖然它們只有兩個(gè)字的不同，但卻是兩種完全不一樣的設(shè)備，那么這兩種設(shè)備具體有哪些差異呢，下面小編給大家簡(jiǎn)單介紹下。

①?gòu)墓δ苌蟻?lái)看，跟傳統(tǒng)的顯微鏡比較，掃描探針顯微鏡具有非常高的分辨率，能夠很輕易的就看到原子，并且其所得到的樣品表面是真實(shí)，實(shí)時(shí)的高分辨率的圖像，對(duì)于使用環(huán)境上，掃描探針顯微鏡的使用環(huán)境還是比較寬泛的，不僅能夠在真空中正常使用，還能夠在大氣中或者低溫，高溫甚至是在溶液中也可以正常使用；而sem掃描電子顯微鏡它對(duì)于其使用的環(huán)境要求是較嚴(yán)苛的，樣品是在高真空的條件下才可以進(jìn)行正常檢測(cè)。

②從原理上來(lái)看，掃描探針顯微鏡，因?yàn)樗墓ぷ髟硎强刂铺结榿?lái)進(jìn)行掃描成像的，所以掃描的速度會(huì)受到一定的限制，檢測(cè)的效率也會(huì)偏低于其他的顯微技術(shù)。由于壓電效應(yīng)在保證能夠精度定位前提下的運(yùn)動(dòng)范圍較?。壳笆呛茈y突破100μm量級(jí)），而機(jī)械的調(diào)節(jié)精度又沒(méi)有辦法與之銜接，因此做不到像掃描電子顯微鏡那樣大范圍的連續(xù)變焦，對(duì)于定位與尋找樣品特征結(jié)構(gòu)也比較困難。目前掃描探針顯微鏡中很為廣泛使用管狀壓電掃描器的垂直方向的伸縮范圍比平面掃描的范圍一般是要小一個(gè)數(shù)量級(jí)的，掃描的時(shí)候掃描器會(huì)隨著樣品表面的起伏而伸縮，如果被檢測(cè)的樣品表面的起伏超過(guò)了其掃描器的伸縮的范圍，則會(huì)造成系統(tǒng)無(wú)法正常使用甚至是損壞探針。所以，掃描探針顯微鏡對(duì)樣品表面的粗糙度的要求較高。

③從用途上來(lái)看，掃描探針顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域是很廣泛的，無(wú)論是在物理，化學(xué)，生物，醫(yī)學(xué)等基礎(chǔ)學(xué)科，還是在材料，微電子等應(yīng)用學(xué)科中都有它的身影。而sem掃描電子顯微鏡其基本的功能就是對(duì)各種的固體樣品表面進(jìn)行高分辨的形貌觀察，大景深圖像是掃描電子顯微鏡觀察的特色，例如：生物學(xué)，植物學(xué)，地質(zhì)學(xué)，冶金學(xué)等等。