Park公司簡(jiǎn)介：

　　 帕克原子力顯微鏡（Park Systems,以下稱Park）是一家專門從事納米設(shè)備測(cè)量的公司。Park致力于新技術(shù)開(kāi)發(fā)，始終是納米顯微鏡和計(jì)量學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新者。Park在AFM技術(shù)發(fā)展中發(fā)揮著舉足輕重的作用，制造和銷售具有全自動(dòng)化軟件且使用方便的高精度原子力顯微鏡（AFM）。截至2021年4月20日，Park股票估值超過(guò)了一兆（萬(wàn)億）韓元。

樸尚一（Sangil Park)博士和他的導(dǎo)師Calvin Quate教授

　　為夢(mèng)想而堅(jiān)守

　　1985年

　　樸尚一博士所在的課題組（師從Calvin Quate教授）研發(fā)出世界首臺(tái)原子力顯微鏡

　　1988年

　　樸尚一博士在美國(guó)硅谷創(chuàng)立了Park Scientific Instruments公司(PSI)

　　1997年

　　樸尚一博士將年銷量為1200萬(wàn)美金的PSI以1700萬(wàn)美金的價(jià)格轉(zhuǎn)賣給了美國(guó)測(cè)量設(shè)備公司Thermo Micro.

　　1997年

　　樸尚一博士回到韓國(guó)，創(chuàng)立PSIA公司，即為后來(lái)的Park原子力顯微鏡公司。

　　1997年4月

　　PSIA(株)成立（資金5億韓元）

　　1998年7月

　　中小企業(yè)廳風(fēng)險(xiǎn)投資企業(yè)確認(rèn)

　　1998年10月

　　被韓國(guó)產(chǎn)業(yè)資源部評(píng)定為工業(yè)為主技術(shù)開(kāi)發(fā)公司

　　2000年04月

　　韓國(guó)科學(xué)技術(shù)部頒發(fā)國(guó)家研究獎(jiǎng)（NRL）

　　2002年7月

　　獲得NT Mark(New Technology)新技術(shù)認(rèn)證

　　2002年

　　消除串?dāng)_技術(shù)的發(fā)展（XE），從而提高了原子力顯微鏡的反饋和成像

　　2003年4月

　　成立美國(guó)分公司（PSIA Inc.）

　　2003年5月

　　被韓國(guó)科學(xué)技術(shù)部選為核心技術(shù)開(kāi)發(fā)產(chǎn)業(yè)（Nano）

　　2003年10月

　　獲得**標(biāo)志認(rèn)證（XE-100, XE-150產(chǎn)品型號(hào)）

　　2004年2月

　　獲得“工業(yè)技術(shù)獎(jiǎng)”

　　2004年

　　真正非接觸模式（True Non-contact Mode）實(shí)現(xiàn)無(wú)損樣品掃描

　　2005年1月

　　被評(píng)為2004年韓國(guó)十大新技術(shù)企業(yè)（原子力顯微鏡技術(shù)）

　　2005年7月

　　獲得ISO 14001環(huán)境管理體系認(rèn)證

　　2006年1月

　　獲得韓國(guó)高新技術(shù)認(rèn)證（NEP， New Excellence Product）

　　2007年1月

　　成立日本分公司

　　2007年4月

　　法人名更改為Park Systems Corp.

　　2007年12月

　　被知識(shí)經(jīng)濟(jì)部評(píng)為"世界**商品生產(chǎn)企業(yè)"

　　2008年3月

　　“韓美未來(lái)產(chǎn)品經(jīng)營(yíng)大獎(jiǎng)”

　　2008年7月

　　獲得 ISO ****質(zhì)量管理體系認(rèn)證

　　2008年8月

　　XE-3DM：用于高分辨率3D測(cè)量的全新3D原子力顯微鏡

　　2008年11月

　　XE-Wafer: 用于在線晶圓檢測(cè)和計(jì)量的自動(dòng)化工業(yè)AFM

　　2009年5月

　　通過(guò)了Hynix海力士半導(dǎo)體的"Preliminary Performance Test"

　　2009年6月

　　榮獲彼得.德魯克創(chuàng)新獎(jiǎng)

　　2010年1月

　　獲得國(guó)家核心技術(shù)獎(jiǎng)（工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)）2010-11號(hào)

　　2010年12月

　　韓國(guó)十大新技術(shù)獎(jiǎng)（XE-3DM技術(shù)）-知識(shí)經(jīng)濟(jì)部

　　2010年12月

　　韓國(guó)技術(shù)大賞銀獎(jiǎng)（XE-3DM技術(shù)）（經(jīng)濟(jì)部長(zhǎng)獎(jiǎng)）

　　2011年

　　Park NX10新品出市：全新產(chǎn)品系列的*優(yōu)原子力顯微鏡

　　2012年8月

　　NanoKorea 2012知識(shí)經(jīng)濟(jì)部長(zhǎng)獎(jiǎng)

　　2012年8月

　　新加坡分公司成立

　　2012年10月

　　Park NX-Wafer: 全自動(dòng)晶圓檢測(cè)原子力顯微鏡

　　2012年

　　Park NX20新產(chǎn)品：用于故障分析和大型樣品掃描的**納米計(jì)量工具

　　2013年6月

　　被選為 INNO-BIZ(技術(shù)創(chuàng)新中小企業(yè)) (13.06.20~16.06.19)

　　2013年

　　Park NX-HDM: 實(shí)現(xiàn)硬盤介質(zhì)和半導(dǎo)體襯底的全自動(dòng)化缺陷檢查和亞埃米級(jí)表面粗糙度測(cè)量

　　2014年

　　Park SmartScan: 通過(guò)Park劃時(shí)代創(chuàng)新自動(dòng)成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)SmartScan軟件的三次點(diǎn)擊成像

　　2015年2月

　　與IMEC達(dá)成JPD協(xié)議以開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體制造業(yè)的納米級(jí)原子力顯微鏡計(jì)量學(xué)

　　2015年5月

　　被選為國(guó)家產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)事業(yè)項(xiàng)目 (2015.06~2018.05)-韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部

　　2015年8月

　　首次在KOSDAQ（科斯達(dá)克）評(píng)估信息中獲得AA等級(jí)技術(shù)評(píng)估，技術(shù)保證金

　　2015年9月

　　被指定為國(guó)家核心技術(shù)（原子力顯微鏡制造技術(shù)） -韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部

　　2015年12月

　　在科斯達(dá)克（KOSDAQ）上市，首次公開(kāi)募股

　　2015年6月

　　NX-3DM:失效分析，質(zhì)量監(jiān)控和工藝改進(jìn)的*佳原子力顯微鏡

　　2015年

　　Park NX-Hivac: 用于故障分析和氣壓敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

　　2016年6月

　　榮獲第8屆韓國(guó)KOSDAQ獎(jiǎng)"*佳下一代企業(yè)獎(jiǎng)"

　　2016年6月

　　被選為INNO-BIZ(技術(shù)創(chuàng)新中小企業(yè)) (A等級(jí)，16.06.20~19.06.19)

　　2016年7月

　　2016弗若斯特沙利文（Frost＆Sullivan）“全球技術(shù)支持**獎(jiǎng)”

　　2016年12月

　　產(chǎn)業(yè)通商資源部頒發(fā)2016年"**5屆產(chǎn)業(yè)技術(shù)獎(jiǎng)"

　　2016年

　　Park NX20 300mm: 可用于300 mm晶片圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米測(cè)量工具

　　2017年2月

　　成立中國(guó)臺(tái)灣分公司

　　2017年3月

　　成立歐洲分公司

　　2017年

　　Park NX12: 多功能原子力顯微鏡平臺(tái)，滿足納米級(jí)測(cè)量的需求

　　2018年5月

　　2018年科斯達(dá)克（KOSDAQ）后起之秀企業(yè)

　　2018年6月

　　第十屆韓國(guó)科斯達(dá)克（KOSDAQ）大賞***技術(shù)企業(yè)獎(jiǎng)

　　2018年9月

　　中國(guó)北京分公司成立

　　2018年11月

　　科學(xué)技術(shù)信息通信部，產(chǎn)業(yè)通商資源部頒發(fā)2018年十大納米技術(shù)獎(jiǎng)

　　2018年12月

　　入選2018年*有前途半導(dǎo)體技術(shù)解決方案企業(yè)

　　2019年7月

　　再次被選為2019年科斯達(dá)克（KOSDAQ）后起之秀企業(yè)

　　2019年7月

　　獲NanoKorea 2019年韓國(guó)國(guó)務(wù)總理表彰獎(jiǎng)

　　2020年2月

　　Park NX-TSH: 專為超大納米平板顯示器測(cè)量設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡

　　2020年3月

　　IMEC與Park公司簽署第二期JDP協(xié)議合作開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體制造的納米計(jì)量解決方案

　　2020年5月

　　Park原子力顯微鏡完成其對(duì)Molecular Vista的股權(quán)投資

　　2021年1月

　　2020年福布斯亞洲10億美元200強(qiáng)企業(yè)榜單 -Park原子力顯微鏡公司上榜

　　2021年2月

　　Park SmartLitho?-*簡(jiǎn)易的納米光刻和納米操作的智能化軟件

　　2021年4月

　　在科斯達(dá)克（KOSDAQ）突破一兆（萬(wàn)億）韓元的關(guān)口

　　Park研發(fā)之路

　　"前世今生"

　　近40年間，樸尚一博士致力于原子力的發(fā)展。1985年，樸尚一博士在斯坦福大學(xué)Calvin Quate教授課題組攻讀博士學(xué)位期間，親身參與并見(jiàn)證了首臺(tái)AFM的誕生。該成果發(fā)表在1986年3月的“物理評(píng)論快報(bào)”上，該成果的共同作者單位為Gerd Binnig(IBM公司阿爾瑪?shù)茄芯恐行?、Christoph Gerber(IBM公司蘇黎世研究實(shí)驗(yàn)室)、Calvin Quate教授(斯坦福大學(xué))。

　　 1988年，樸尚一博士在美國(guó)硅谷創(chuàng)立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作為全球*初的商業(yè)化AFM公司在硅谷獲得了巨大成功，公司僅用三年時(shí)間，銷售業(yè)績(jī)就達(dá)到了595萬(wàn)美金，相比于創(chuàng)業(yè)之初的1988年，業(yè)績(jī)實(shí)現(xiàn)了超過(guò)10倍的暴風(fēng)式增長(zhǎng)。1 997年， PSI以1700萬(wàn)美金的收購(gòu)價(jià)格被美國(guó)測(cè)量設(shè)備公司Thermo Micro全資收購(gòu)。

　　 1997年，樸尚一博士回到韓國(guó)并于當(dāng)年成立了PSIA公司。伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起，PSIA公司著力于開(kāi)發(fā)適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的計(jì)量型原子力顯微鏡。1998年，PSIA公司推出了首款可以對(duì)8英寸Wafer進(jìn)行缺陷檢測(cè)的原子力顯微鏡"SM5-200"。

　　 2000年，PSIA公司根據(jù)LCD產(chǎn)業(yè)的需求，推出了世界上首臺(tái)不用破片的大尺寸LCD產(chǎn)業(yè)用原子力顯微鏡--600X720 mm液晶顯示器(LCD)。該產(chǎn)品首次實(shí)現(xiàn)了原子力顯微鏡檢測(cè)的不破片測(cè)量，并在同年得到了三星電子的評(píng)測(cè)認(rèn)可。

　　 但在2001年，由于受制于美國(guó)的貿(mào)易政策，PSIA公司不能從美國(guó)的公司采購(gòu)任何主要的美國(guó)生產(chǎn)的產(chǎn)品備件，導(dǎo)致公司生產(chǎn)一度停滯。

　　 “求人不如求己！”

　　 面對(duì)美國(guó)一些貿(mào)易壁壘的經(jīng)營(yíng)限制條例，樸尚一博士決定借此機(jī)會(huì)讓PSIA成為完全的技術(shù)獨(dú)立者。在隨后的漫長(zhǎng)時(shí)間里，他致力于研發(fā)完全本土化的產(chǎn)品。歷盡不為人知的眾多曲折后，PSIA*終推出了世界上首臺(tái)掃描器分離的原子力顯微鏡Park XE-100，并且將非接觸模式的算法進(jìn)行了優(yōu)化升級(jí)，一舉解決了傳統(tǒng)非接觸模式不能進(jìn)行高分辨掃描的弊端。PSIA推出的非接觸模式成像，在獲得高分辨率的照片的同時(shí)，且使探針壽命得到了顯著的提升，有效降低了AFM使用成本。2007年4月，PSIA正式改名為Park Systems (中文名：帕克原子力顯微鏡，以下稱為Park)。

　　 隨后Park還開(kāi)發(fā)了3D原子力顯微鏡測(cè)量技術(shù)，升級(jí)款的原子力顯微鏡可以測(cè)量類似TSV樣品的側(cè)壁形貌。此項(xiàng)技術(shù)問(wèn)世后，歐洲**的微電子技術(shù)獨(dú)立研發(fā)中心IMEC向Park拋來(lái)合作的橄欖枝，并在2015年和Park簽署合作意向書，以便在半導(dǎo)體工藝先進(jìn)制程研發(fā)領(lǐng)域建立長(zhǎng)期合作伙伴關(guān)系。

　　總結(jié)語(yǔ)

　　 Park公司成立至今，從包括樸尚一博士在內(nèi)的首次創(chuàng)業(yè)的幾個(gè)合伙人，發(fā)展到現(xiàn)在擁有400人的全球公司，實(shí)現(xiàn)了質(zhì)的蛻變。截至目前，Park公司市值已超過(guò)10億美金，在全球建立了9個(gè)分公司和代表處，并于2017年在中國(guó)北京成立了韓國(guó)帕克服份有限公司北京代表處……毋庸置疑，隨著市場(chǎng)地不斷開(kāi)拓，Park公司憑借著與時(shí)俱進(jìn)的研發(fā)技術(shù)，已經(jīng)成為業(yè)界**的**企業(yè)。接下來(lái)Park即將推出一系列新品原子力顯微鏡，并將于2024年擴(kuò)遷公司總部，以更好地推進(jìn)公司的運(yùn)營(yíng)和發(fā)展。Park將為科學(xué)和工業(yè)實(shí)驗(yàn)室引入一種具有人工智能和機(jī)器人智能化的全新全自動(dòng)化原子力顯微鏡 ，敬請(qǐng)期待！