電子束下樣品熱穩(wěn)性要好，且不會(huì)被電子束分解。在掃描電鏡正常觀察圖像時(shí)，電子探針的束流通常為 nA 級(jí)別，所以對(duì)于大多數(shù)樣品，受熱不是問(wèn)題。但對(duì)一些熱敏材料會(huì)出現(xiàn)損傷，觀察部位出現(xiàn)起泡、龜裂、孔洞(熱損傷)，甚至有些樣品在高溫下分解，釋放氣體或物質(zhì)(熱分解)，當(dāng)他們進(jìn)入電鏡內(nèi)部，勢(shì)必會(huì)影響電鏡性能，甚至引起故障。

解決方案：

這類(lèi)樣品多為生物和有機(jī)聚合物樣品，在表面鍍膜可以提高樣品的穩(wěn)定性，觀察時(shí)也盡量選擇較小加速電壓和束流強(qiáng)度，以減少電子束對(duì)樣品的損傷。