SEM掃描電鏡測試的原理與樣品制備
日期:2024-04-03 10:12:35 瀏覽次數(shù):40
SEM掃描電鏡測試的原理主要基于電子與物質(zhì)之間的相互作用。當高能電子束轟擊樣品表面時,電子與樣品中的原子發(fā)生碰撞,產(chǎn)生多種信號,如二次電子、背散射電子等。這些信號被探測器捕獲并轉(zhuǎn)換成電信號,進而在顯示器上形成樣品的圖像。由于電子的波長遠小于可見光,因此SEM具有更高的分辨率,能夠觀察到更細微的結(jié)構(gòu)。
在SEM測試中,樣品的制備至關(guān)重要。制備過程主要根據(jù)樣品的類型和觀察目的來確定。對于塊狀樣品,如金屬或陶瓷,通常使用導電膠帶或液體導電膠將其固定在樣品臺上。粉末樣品可以撒在導電膠帶上或直接粘在樣品臺上。對于需要觀察截面的樣品,可能需要采用聚焦離子束(FIB)或機械研磨-拋光的方法進行制備。對于生物樣品,如細胞或組織,制備過程則更為復雜,需要保持其天然狀態(tài),可能涉及臨界點干燥、冷凍固定、離子替換等步驟。
在制備過程中,還需注意一些關(guān)鍵因素。首先,大多數(shù)生物樣品和濕態(tài)樣品都需要進行干燥處理,以防止樣品在電鏡觀察中變形或損壞。其次,樣品B須不含揮發(fā)物和污染物,以確保設備部件不受污染,提高成像信號的質(zhì)量和探測器效率。此外,樣品的尺寸和導電性也是需要考慮的因素。對于導電性差的樣品,可能需要進行鍍膜處理以提高其導電性。
總的來說,SEM掃描電鏡測試的原理基于電子與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信號,而樣品制備則是獲取高質(zhì)量、準確圖像的關(guān)鍵步驟。通過合理的樣品制備,可以確保SEM測試結(jié)果的準確性和可靠性。
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